离子减薄仪的原理和操作说明

发表时间:2022-08-08      点击次数:178
离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器。离子减薄仪有着较快的制样速度。可以以较小的耗费将高质量的TEM样品制备出来。该仪器可以快捷方便地进行操作,低能量离子枪功能为其所配备,对能量敏感性样品的减薄特别适合。液氮冷台为其所配备,对温度敏感性样品的减薄特别适合。陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜( TEM)样品的制备为该仪器的主要用途。
 
氩气的电离采用高压来进行,在电场是作用下,电离后的氩离子对样品表面进行轰击。在氩离子的持续轰击下,样品慢慢减薄,一直到使透射电镜观察要求满足,此即为离子减薄仪的工作原理。
 
减簿及观察:
 
1、对所需的减薄时间进行设定。
2、对工作电压进行设定(通常设定成4或者5Kev)
3、对离子枪工作模式进行设定(通常设定成双离子束调变)
4、对左右离子枪工作角度进行调整(通常为±4度)
5、将氩气工作模式调整为自动气体
6、对载台转速进行设定(通常是3RPM)
7、对启动进行点击开始工作。
8、在工作期间能够对Viewing 选项进行点击,通过CCD来对样品减薄情况进行观察。
9、样品穿孔后能够对低电压进行更换继续减薄,一直到薄区良好。
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