高真空镀膜仪主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。不受镀膜元件的资料及现状的影响。镀膜的厚度能够操控，通常为十几分或百分之几微米，因而，高真空镀膜机被广泛运用于电子设备，地理仪器，外表等各职业，是制作真空条件应用比较广泛的设备。
高真空镀膜仪能够实现铂金、碳等材料的喷镀，喷镀厚度可实时监控，均一性更好，便于后期电镜观察分析。
高真空镀膜仪检漏时需要注意哪些事项？
1、要查看漏气究竟的虚漏仍是实漏，因为工件资料加热后都会在不同程度上发生气体，有也许误以为是从外部流进的气体，这即是虚漏，要扫除这种状况。
2、测验好真空室的气体密封功能，确保气密功能符合要求。
3、查看漏孔的巨细，形状、方位，漏气的速度，制备出可处理方案并施行。
4、断定检查仪器的最小可检漏率和检漏灵敏性，以大规模的检查出漏气状况，防止一些漏孔被疏忽，进步检漏的准确性。
5、掌握检漏仪器的反应时刻和消除时刻，把时刻掌握好，确保检漏仪器作业到位，时刻少了，检漏作用必定差，时刻长了，浪费检漏气体和人工电费。
6、还要防止漏孔阻塞，有时因为操作失误，检漏过程中，一些尘埃或液体等把漏孔阻塞了，以为在该方位没有漏孔，但当这些阻塞物因为内外压强区别进步或别的缘由使漏孔不堵了，漏气仍是存在的。
