掌握要点合理使用电镜用镀膜仪

发表时间:2022-10-25      点击次数:135
电镜用镀膜仪通过连续监控在线生产来保证镀膜产品的优良性,提高车间生产线上的工作效率。镀膜仪的种类多样主要分为:蒸发真空镀膜设备系列、离子真空镀膜仪系列、磁控溅射真空镀膜设备。由于真空镀膜仪的应用非常的广泛,目前已经渗透到车辆、土木建筑工程、机械、包装、环境保护、医药及医疗器械、石油、化工、食品、光学、电气、电子、原子能、半导体、低温、专用机械、纺织、造纸、农业以及民用工业等工业部门和科学研究工作中。
 
  电镜用镀膜仪的应用是很复杂的,用户需求掌握必定的操作常识,我们来一起学习一下:
 
  一、电控柜操作
 
  1.开水泵、气源;
 
  2.开总电源;
 
  3.开保持泵、真空计电源,真空计档方位,等待其值小于10后,再进入下一步操作,约需5分钟;
 
  4.开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、发动,真空计开关换到V2方位,抽到小于2停止,约需20分钟;
 
  5.调查涡轮分子泵读数抵达250后,关抽开前机和高阀持续抽真空,抽真空抵达必定程度后才能开右边的高真空表头,调查真空度。真空抵达2×10-3后才能开电子枪电源。
 
  二、电镜用镀膜仪的开机操作
 
  1.开总电源;
 
  2.一起开电子枪操控Ⅰ和电子枪操控Ⅱ电源:按电子枪操控Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及维护灯亮,三分钟后延时及维护灯灭,若后门未关好或水流继电器有毛病,维护灯会常亮;
 
  3.开高压,高压会到达10KV以上,调理束流可到200mA摆布,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1-1.7之间摇摆。
 
  三、电镜用镀膜仪的关机操作
 
  1.关高真空表头、关分子泵;
 
  2.待分子泵显现到50时,顺次关高阀、前级、机械泵,此时段约需40分钟;
 
  3.到50以下时,再关保持泵。


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