真空镀膜机常见的几种故障处理方法

更新时间:2023-03-30      点击次数:1131
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
 
常见的几种故障处理方法:
 
一、检测不到掩膜夹具翻转信号:
 
1、检查翻面信号源位置
2、将翻面输入信号人工短接,使用翻面检测功能,计算机能检测到信号时,证明问题在翻面控制开关上,根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路,然后更换控制卡。
 
二、掩膜夹具翻转不稳定:
 
1、检查翻板的初始位置是否符合时机
2、检测翻面控制开关工作是否稳定,可用指针万用表跟踪监测。
3、检查翻转机构动作是否灵活可靠
4、检查翻面信号次数设置
5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有磨擦现象
6、检测旋转工作台在转动时的稳定性
 
三、在同一掩膜夹具频率散差大:
 
1. 检查晶片本身是否散差大
2. 检查膜层修正板位置是否变动,重新调节修正板
3.检查一下挡板在开、关时是否全遮挡住钼舟
4.检查一下轰击环是否完遮挡住钼舟
5.检查钼舟使用是否符合要求,要采用圆形钼舟
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