徕卡真空镀膜仪各部件的组成及工作原理

发表时间:2022-01-25      点击次数:1140
  徕卡真空镀膜仪包括机架,机架上设有真空室,真空室内设有载物台;载物台设置在真空室的上腔体中,真空室的下腔体中设有电蒸发系统,电蒸发系统包括陶封电极,陶封电极包括公共电极及一个以上的负极,公共电极与负极之间连接有钨体。通过钨体,依靠电蒸发系统和真空腔室,采用从下往上的蒸发方式,大大的提高了蒸发的效率,可简单并有效的满足蒸镀要求。
  徕卡真空镀膜仪各部件的组成及工作原理:
  一、真空主体--真空腔
  根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各局部有连接阀,用来连接各抽气泵浦。
  二、辅助抽气系统
  此排气系统采用“扩散泵+机械泵十罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。排气系统为镀膜机真空系统的重要局部,主要有由机械泵、增压泵[主要介绍罗茨泵]、油扩散泵三大局部组成。机械泵:也叫前级泵,机械泵是应用广泛的一种是低真空泵,它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵吸气空腔的体积,使被抽容器气体的体积不断膨胀从而获得真空。
  徕卡真空镀膜仪的监控目前应用方式比较多,主要有:目视监控法,定[极值]值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。几种监控方法各有优劣,但通常镀多层膜,会以光学监控为主,石英晶体振荡为辅助的方法。除此之外,对于有些在镀膜过程中需要充入气体的还有流量控制计或者压力控制计,这些需要采用精细的阀门和光电传感系统来控制。在镀膜过程中还需要回转控制系统,就是将伞具的主轴置于轴承里面,然后再利用电机带动轴承,使伞具回转。然后再PLC控制其回转速度。
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